Az elektronikagyártási technológiák optimalizálása és észszerűsítése SCARA, hattengelyű és merőleges mozgáspályájú felszedő- és elhelyezőrobotokkal

Bevezetés

Egyes becslések szerint a robotok elektronikagyártásban való használata ma már a gépjárműiparéval vetekszik. Nem csoda: a gyártott lapkák, alkatrészek és a teljesen összeszerelt elektronika nagy értéket képviselnek, így indokolttá teszik az automatizálási technikákba történő beruházásokat. A helyzetet bonyolítja, hogy a gyártott mennyiségeknek nagyoknak kell lenniük, és a termékek természetüknél fogva is kényesek, mivel a félvezetőszeletek egyes felhasználási területeken már csak 140 µm vastagok. Ezek a felhasználási paraméterek nagyon pontos anyagmozgatást követelnek meg kivételes kinyúlással (munkavégzési távolsággal), sebességgel, erővel és „kézügyességgel” rendelkező mozgatórendszerekkel és robotokkal, valamint a pormentes termekre vonatkozó előírásoknak való megfeleléssel.

1. ábra: A képen egy pormentes teremben található atomiréteg-leválasztó (ez a szakmában mára sajnos már eléggé elterjedt megnevezés valójában téves fordítás eredménye, helyesen: atomiréteg-képző) gépbe helyezett kényes félvezetőszelet látható (kép: Dreamstime)

A félvezetőgyártásban a robotika bevezetését felgyorsítják a hattengelyű robotok, a SCARA (selective compliance articulated robot arm, egy síkban mozgó csuklós robotkarú) robotok, a merőleges mozgáspályájú (derékszögű – descartes-i – koordinátarendszert használó) robotok és az együttműködő robotok (az angol collaborative robot kifejezésből eredő mozaikszóval: kobot) egyre növekvő osztályai, amelyek újrabeállítható vagy modulrendszerű hardverrel, valamint a megvalósítást jelentősen egyszerűsítő egységesítő szoftverrel vannak ellátva.

Ezeket a robotokat és kiegészítő berendezéseiket pormentes termi körülményekre kell tervezni, és ennek megfelelően kell méretezni és telepíteni, különben fennáll annak a veszélye, hogy a kényes félvezetőszeletek elszennyeződnek. A követelmények az ISO 14644-1:2015 szabványban vannak lefektetve, amely részecskeszám alapján osztályozza a pormentes termek levegőjének tisztaságát. Emiatt különösen oda kell figyelni az alábbiakra:

• Az összeépítési, csomagolási, szállítási és telepítési módszerek pontosabbá tétele azt megakadályozandó, hogy a részecskék más tárgyakon utazva (mintegy „autóstoppolva”) jussanak be a pormentes terembe.
• Különleges bevonatok, amelyek nem hámlanak le, és más módon sem kopnak le.
• Ahol csak lehetséges, rozsdamentes acél burkolatok és egyéb elemek.
• Különleges semleges kémhatású és gázképződésmentes kenőanyagok a mechanikus alkatrészekhez
• Vákuumos elszívóelemek a robottestben, amelyek a részecskéket egy elkülönített kivezetőterületre irányítják.
• A robotok összes csatlakozásának különleges tömítése.

Ez utóbbi különösen fontos a nagy sebességű robotok esetében, amelyek kielégítik a nagy mennyiségben gyártott félvezetők iránti igényt, de több részecske mállik le róluk, mint a lassabban mozgó berendezésekről.

2. ábra: A robotikának és egyéb automatizálási módszereknek a mikroelektronika gyártásában való használata túlmutat a pormentes termeken (kép: Dreamstime)

Összefoglaló arról, hogy az egyes robottípusok hol jeleskednek

Bár a felhasználási területek sokszor átfedik egymást, az elektronikai eszközök összeszereléséhez leginkább a hattengelyű robotok kapcsolódnak. A SCARA robotok 360°-ban képesek mozgatni az elektronikus alkatrészeket, hogy más berendezéseknél gyorsabban és gyakran pontosabban végezzék el a félvezetőszelet-mozgatási és -feldolgozási feladatokat. A merőleges mozgáspályájú robotok ezzel szemben gyakran a félvezetők tesztelési és csomagolási feladataiban, valamint a nagy méretű elektronikai termékek feldolgozásában kapnak helyet. Az együttműködő robotokat vagy kobotokat ellenben arra használják, hogy összeköttetést teremtsenek a pormentes termek fokozottan védett zónái és azon részei között, amelyeken az üzem személyzete áthaladhat. A kobotokat egyre gyakrabban használják olyan forrasztási és egyéb feladatokra is, amelyeket korábban szinte kizárólag a kézzel hajtottak végre.

3. ábra: A képen lapkák automatikus nyomtatott áramköri lapra forrasztása látható (kép: Dreamstime)

Bár nem tartozik a cikk tárgykörébe, de a delta elrendezésű robotként vagy röviden delta robotként ismert párhuzamos kinematikájú (párhuzamos rudazatú) robotokat is egyre több helyen használják, különösen az elektronikai termékek összeszerelésénél. Akár önállóan, akár párban működnek, vagy akár a SCARA robotok kiegészítéseként egy munkacellában, a delta robotok a félvezetőgyártásban kivételesen gyors és dinamikus felszedési és csomagolási képességeket kínálnak. Ezekről a felhasználási módokról a digikey.com webhelyen, a félvezetőiparban használt delta robotokról szóló, How Delta Robotics Optimize and Streamline Electronics Manufacturing Processes (Az elektronikagyártási folyamatok optimalizálása és egyszerűsítése delta robotokkal) című cikkben olvashat bővebben. Ami azt illeti, a delta robotok kinematikája olyan pontosságot és ismételhetőséget nyújt, amely alkalmassá teszi őket a fényelektromos (vagy idegen szóval fotovoltaikus) elektronika összeszerelésére.

A robotika a nagyobb termelékenység érdekében végberendezéseket használ

A korszerű pormentes termi minősítésű, robotkarok végére szerelhető szerszámok (úgynevezett végberendezések, az angol end-of-arm tool kifejezés rövidítéséből olykor EoaT), például robotkezek a félvezetőgyártás központi elemei. Itt a végberendezéseknek nagy dinamikával kell rendelkezniük, és képesnek kell lenniük a nyomon követés, az elhelyezés és az összeszerelés rendkívül pontos végrehajtására. Bizonyos esetekben a végberendezések erő-visszacsatolás vagy gépi látás segítségével növelik az alkatrész-mozgatási pontosságot, alkalmazkodóképessé téve a robotokat – így például azok akkor is képesek gyorsan végrehajtani a felszedési és elhelyezési mozdulatsorokat, ha a munkadarabok helyzete nem tökéletesen azonos. Az ilyen érzékelők és visszajelzők fejlődése néha szükségtelenné teheti a hagyományos megoldások elektronikát kezelő bonyolult szerelvényeit.

4. ábra: A kis alkatrészek megfogására szolgáló EGK robotkezek H1 zsírral kenhetők, és megfelelnek a pormentes termekre vonatkozó előírásoknak (kép: SCHUNK Intec Inc.)

5. ábra: Az elektronikai bérgyártásban kiterjedten használnak robotokat a nyomtatott áramköri lapok tesztelésére (kép: Dreamstime)

Gondoljon arra, hogyan látnak el a hattengelyű robotok által kiszolgált rugalmas munkacellák gyakran két vagy több feladatot, például általános munkadarab-mozgatást, szállítószalagok és egyéb gépek kiszolgálását, forgácsolást, összeszerelést és csomagolást. Ehhez hasonlóan a tokozás, a rezgéscsillapítás, az árnyékolás, a ragasztás és a tömítőanyagok felhordása gyakran egyetlen hattengelyű robotcellán belül történik. Itt az automatizált szerszámváltókkal kiegészített robot-végberendezések több feladat végrehajtását teszik lehetővé, hogy minden munkacellát a lehető legnagyobb mértékben ki lehessen használni. A végberendezés-váltások jellemzően gyorsak, hogy támogassák a félvezetőipar nagy gyártott mennyiségekre vonatkozó követelményeit. Egy robot használhat például egy végberendezést tárgyak felvétele és foglalatba helyezése céljából. Ezután (egy gyors végberendezés-váltást követően) ragasztót vihet fel, és összepréselheti a végtermék házának egymáshoz illeszkedő részeit. Egy harmadik végberendezés kihordó futószalagra vagy ládába rakhatja a késztermékeket.

6. ábra: A robot-végberendezések lehetnek forrasztópákahegyek is, hogy automatizálják az alkatrészek nyomtatott áramköri lapokra szerelését (kép: Dreamstime)

SCARA robotok az elektronikagyártásban

A SCARA robotok évtizedek óta a félvezetőszeletek feldolgozásának, mozgatásának és összeszerelésének jolly jokerei, többek között az alábbi feladatokra használják őket:

• rétegképzés és maratás
• hőkezelési eljárások
• fotomaszk-feldolgozás
• nyomtatott áramköri lapok összeszerelése
• vizsgálatok és mérések

Mindent összevetve a SCARA robotok nagy sebességet kínálnak a henger alakú, 360°-os munkavégzési távolságukon belül – gyakran sokkal gyorsabban (és néha pontosabban) képesek elvégezni a felszedési és elhelyzési feladatokat, mint a hasonló hattengelyű és merőleges mozgáspályájú robotok. Nevezetesen néhány iparági SCARA rendszer ±20 μm-en belüli ismétlési pontosságot nyújt a lineáris szabadságfokok mentén és ±0,01°-ost a tengelyek körül elfordulva, valamint közvetlen hajtásos megoldást a vékony és viszonylag törékeny félvezetőszeletek zökkenőmentes továbbítására. Bár a hasznos teher sok SCARA robot esetében 10 kg-ra vagy annál kisebbre korlátozódik, ez a félvezetőkkel kapcsolatos felhasználási területeken ritkán jelent problémát, igaz, a napelemgyártás kapcsolódó területén ez is mindenképpen megfontolás tárgyát képezi.

7. ábra: A SCARA robotok gyorsan és pontosan végzik el a felszedéssel és elhelyezéssel járó félvezetőszelet-mozgatási és -feldolgozási feladatokat (kép: Dreamstime)

A SCARA robotok képesek jól együttműködni a félvezető-feldolgozó munkaállomásokon használt szállítószalagokkal, valamint a több szilíciumlapkán egyidejűleg történő alkatrész-kialakítás vagy funkció-hozzáadás megkönnyítésére tervezett félvezetőszelet-mozgató forgóasztalokkal (idegen eredetű néven karusszelekkel).

Hattengelyű robotok az elektronikagyártásban

Az ipari minőségű csuklós robotok több forgócsuklóval vannak ellátva, amelyek segítségével 2–10 szabadságfokban tudnak tárgyakat mozgatni. A leggyakoribb csuklós robottípus a hattengelyű robot. A pormentes teremben való munkavégzést igénylő félvezetőipari folyamatokhoz előnyösek a megfelelően méretezett hattengelyű robotok, amelyek kis méretűek, hogy kevesebbet fogyasszanak, és kisebb helyet foglaljanak el a pormentes terem drága területéből. A nagy mennyiségben történő gyártáshoz, anyagmozgatáshoz és összeszereléshez szükséges sebesség és pontosság biztosítása érdekében ennek a robottípusnak sokféle változata létezik. A robotok csuklóit meghajtó szervomotorok hasonlóak a más robottípusokban találhatóakhoz, de a hattengelyű robotokban ezek a villanymotorok nagyon nagy valószínűséggel hullámhajtásos vagy cikloishajtású hajtóművekhez kapcsolódnak.

A SCARA robotokhoz hasonlóan a hattengelyű robotok is jól együtt tudnak működni a félvezető-feldolgozó munkaállomásokon használt szállítószalagokkal.

8. ábra: Ez a hattengelyű csuklós robot a pormentes termekre vonatkozó ISO 5 (100-as osztály) előírásokat teljesítő kivitelben kapható (kép: Denso Robotics)

A hattengelyű robotok fő erőssége a kézügyességük és egy adott méretű rudazat esetében nagy munkatérfogatuk, akár a padlóra szerelve, akár a mennyezetről lefelé lógatva. Egy behúzott állapotban 600 mm magas hattengelyű kar minden irányban kinyúlhat 650 mm-re, és képes mindegyik csukló gyors és egyidejű, 120° és 360° közötti elforgatására, lehetővé téve a néhány grammtól több kilogrammig terjedő hasznos elektronikai terhek gyors mozgatását. A minden egyes csuklónál elhelyezett abszolút kódolók és az Ethernet-alapú hálózat biztosítja a mozgás-visszacsatolást, valamint a PLC-vel, számítógéppel vagy célirányos robot-működtetőegységekkel és az alkalmazkodó szoftverrel való kapcsolatot úgy a vezérlés, mind a folyamatoknak az idő előrehaladtával történő javítása céljából. Ezek a működtetőegységek tartalmazzák a kifinomult végberendezéseket – például a kis és törékeny elektronikai alkatrészek biztonságos mozgatásához szükséges robotkezeket – is.

A hattengelyű robotok a gépkiszolgálásban és az elektronikai termékek csomagolásában jeleskednek. A nyomtatott áramköri lapok összeszerelésén túl a robotok képesek rögzíteni az elektronikát a végtermékek fém- vagy műanyag házába, és elvégezni a szükséges villamos csatlakoztatásokat is. Egyes hattengelyű robotok a kész elektronikai termékek készlet-összeállítását, dobozokba csomagolását és raklapozását is el tudják végezni.

Merőleges mozgáspályájú robotok az elektronikagyártásban

A merőleges mozgáspályájú robotok – modulrendszerűen összeállított lineáris tengelyek mentén mozgó ún. transzlációs (egyesen vonalú mozgást végző) robotok – segítik a félvezetőipar azon igényének kielégítését, hogy a műveletek számos folyamat során fenntartsák a pormentes termekre előírt követelményeket. A szinte korlátlan méretezhetőség azt jelenti, hogy a robot egyes tengelyek menti mozgási úthossza néhány centimétertől akár több mint 30 méterig is terjedhet. A merőleges mozgáspályájú robotok ismétlési pontossága a lineáris szabadságfokok mentén ±10 μm-en belül maradhat, ha ehhez hasonló szögismétlési pontosságú végberendezésekkel, valamint a félvezetőszeletek különösen zökkenőmentes továbbítása érdekében a forgó mozgást hasonló pontossággal egyenes vonalú (lineáris) mozgássá átalakító mozgásátalakítással és közvetlen hajtással vannak ellátva. A másodpercenként hat méteres sebesség meglehetősen gyakori.

9. ábra: A merőleges mozgáspályájú robotok teljesen automatizált félvezetőgyártási feladatokat hajtanak végre. Figyelje meg a lineáris motorokat, amelyek nagy pontosságú közvetlen hajtást tesznek lehetővé az adott tengelyeken (kép: Dreamstime)

A merőleges mozgáspályájú robotok jellemzően célirányos automatizálási feladatokat hajtanak végre, mivel kinematikájuk általában kevésbé rugalmas és kevésbé módosítható, mint más robottípusoké. A pontosságuk azonban kivételes – különösen akkor, ha a működtetőegységek visszajelzéseket adnak, és parancsokat állítanak elő az ezredmásodperces reakciósebesség érdekében. Ez a mozgás kulcsfontosságú az automatizált szilíciumlapka-gyártás, a méretre vágás és a felületcsiszolás, valamint a sok mindenre kiterjedő összeszerelési rutinok szempontjából.

A merőleges mozgáspályájú robotok robotcellái a nagy méretű elektronikai termékek, például a síkképernyők és a napelemek gyártása esetén is a legjobb választásnak számítanak.

Konkrét példák merőleges mozgáspályájú robotok használatára

Vegyük például a nyomtatott áramköri lapoknak a lehető legnagyobb mértékben automatizált gyártásában és összeszerelésében használt merőleges mozgáspályájú robotokat. A merőleges mozgáspályájú robotok vagy végberendezéseket mozgatnak a nyomtatott áramköri lap fölött, vagy a nyomtatott áramköri lapot mozgatják egymásra merőleges mozgáspályájú asztalok segítségével a rögzített feldolgozóberendezés munkavégzési tartományán belül. Az ilyen asztalok mozgathatják például a nyomtatott áramköri lapokat egy litográfiai berendezésen belül, hogy az réz áramköröket nyomtasson a nem vezető hordozóanyagra. Ezután a nyomtatott áramköri lap kezdeti nyomtatási folyamata után az alkatrész áramköréhez nem tartozó rezet vegyi úton maratják le. A nem vezető forrasztási maszkok elszigetelik a szomszédos vezetőcsíkokat és alkatrészeket.

10. ábra: A merőleges mozgáspályájú robotok felszerelhetők képalkotó berendezéssel (például a képen látható hőkamerával) a lézeres hegesztéssel előállított nyomtatott áramköri lapok hőnyomtatással végzett kialakításához (kép: Teledyne FLIR)

Sok nyomtatottáramkörilap-összeszerelési művelet során szalagtekercseken vagy dobozban elhelyezett szalagokon érkeznek az elektronikus alkatrészek a munkacellába a merőleges mozgáspályájú robotok számára. (A robotok felszedő- és elhelyezőfejét úgy tervezték, hogy több különböző alakú alkatrészt is képes legyen megfogni és elhelyezni.) A robot ellenőrzi az egyes alkatrészek értékét és polaritását, majd a helyére illeszti és odaforrasztja az alkatrészt a szükséges furat- vagy felületszerelési technikát használva. A furatszerelt alkatrészek lábait a robot a nyomtatott áramköri lap furataiba helyezi, méretre vágja és rögzíti, majd a nagyobb mechanikai szilárdság érdekében a nyomtatott áramköri lap hátoldalán forrasztja be (bár ez bonyolultabb összeszerelési rutinokat tesz szükségessé). Ezzel szemben a felületszerelt alkatrészekhez használhatóak a lehető legteljesebb mértékben automatizált tömeges beállítási és forrasztási rutinok is, így ma már sok nyomtatottáramkörilap-kialakítás esetén ez az uralkodó eljárás. Ennek ellenére a nagy méretű kondenzátorok, transzformátorok és csatlakozók nyomtatott áramköri lapra rögzítésére még mindig a furatszerelés a legelterjedtebb módszer.

11a. és 11b. ábra: A képeken felületszerelt alkatrészek nyomtatott áramköri lapra rögzítésére szolgáló szerszámfejek láthatóak (kép: Dreamstime)

A felületszerelt alkatrészek esetében a forrasztókenőcsöt az alkatrészek ráforrasztása előtt előzetesen kell felvinni a nyomtatott áramköri lapra. Ezt követően az újraolvasztó lágyforrasztás forró levegőt használ a forrasztókenőcs megolvasztásához, hogy létrehozza a felületszerelt alkatrészek csatlakozását. A furatszerelt alkatrészek esetében a hullámforrasztás a gyakoribb eljárás. Ennek során a nyomtatott áramköri lapot egy olvadt forraszanyaggal teli serpenyő felületén kialakított állóhullámon húzzák keresztül. Az ilyen gépek költségesek, és leginkább a nagyon nagy mennyiségű tömeggyártásra alkalmasak.

12. ábra: A merőleges mozgáspályájú rendszer mozgásáról gyakran gépi látás útján nyernek visszajelzést. A hatalmas belső feldolgozási teljesítmény, a fejlett algoritmusok és a beépített FPGA lehetővé teszik, hogy a HAWK intelligens kamerák (beleértve az itt látható típust is) percenként 4000–14 000 alkatrész esetén adjanak valós idejű indítóválaszt a kódolvasás, az ellenőrzés, a hibakeresés és az irányítás elvégzéséhez. Valójában ez a kamera egy köztes megoldás az összetett számítógépes kamerák és az egyszerű ipari okoskamerák között (kép: Omron Automation and Safety)

A merőleges mozgáspályájú robotok jellegzetes villanymotorjai és hajtásai

A merőleges mozgáspályájú robotok számos ugyanolyan fajta szervomotort, precíziós hajtóművet és elektromechanikus hajtást használnak, mint más robotok. Az egyik dolog, amit nem árt megjegyezni, hogy egyes a gyártás során félvezetőket szállító merőleges mozgáspályájú robotokban használt léptetőmotorok nem tévesztendők össze az úgynevezett léptető- és ismétlőkamerákkal, amelyeket néha egyszerűen léptetőkameráknak neveznek. Ez utóbbiak a lapkagyártás során használt fotolitográfiai folyamatokhoz elengedhetetlenek.

Ahogyan a SCARA robotok és különösen a hattengelyű robotok egyre nagyobb mértékben használnak közvetlen hajtású nyomatékmotorokat, úgy a merőleges mozgáspályájú robotok (a félvezetőipar kiszolgálására szolgáló berendezésekben) az utóbbi években egyre nagyobb mértékben használnak lineáris motorokat. Ezeket a közvetlen hajtásokat ágazati szabványos és a saját fejlesztésű motortekercsek, miniatűr véghelyzetkapcsolók, piezoalapú beállítómodulok, vákuumos és pormentes termi minősítésű alrendszerek, lineáris csapágyak, vezérlések és egyéb újítások egész sora egészíti ki, hogy a merőleges mozgáspályájú rendszerek rendkívül finom és nagyon gyors mozgásokat tudjanak végezni.

Együttműködő robotok az elektronikagyártásban

Az együttműködő robotok (kobotok) az elmúlt évtizedben szaporodtak el a félvezetőiparban. Ennek okait bővebben lásd a DigiKey.com blog Easy Automation with Omron TM Collaborative Robots (Egyszerű automatizálás az Omron együttműködő robotjait használva) című cikkében. A félvezetőgyártásban az Omron és más gyártók kobotjai megakadályozhatják a félvezetőszeletek rendkívül sokba kerülő elszennyeződését, összeköttetést teremtve a védett félvezetőszelet-kezelési munkaterületek és a pormentes termi személyzet által kiszolgált munkaterületek között. A félvezetőgyártáshoz megfelelő minőségű kobotok megakadályozzák a részecske- és kenőanyag-kibocsátás okozta elszennyeződést is, és egyúttal az elhelyezés és a forrasztás során kiegészítik a kézi műveleteket.

13. ábra: A HCR-5 sorozatú robotok megfelelnek a pormentes termekre vonatkozó ISO-2 előírásoknak (kép: Hanwha Corp./Momentum)

14. ábra: A KUKA együttműködő robotok (kobotok) az Infineon ISO 3 előírásoknak megfelelő félvezetőszelet-feldolgozó pormentes termének központi elemei (kép: KUKA)

15. ábra: Az Infineon ezen pormentes termében lévő KUKA kobotokat mechatronikai és automatizálási szakemberek szakszerűen építették össze, kapcsolták hálózatba és programozták (kép: KUKA)

A félvezető- és elektronikai iparban használt kobotoknak átlagon felüli sebességgel kell rendelkezniük, amit fejlett dinamika és vezérlés egészít ki, hogy megakadályozza a vékony és ezért kényes félvezetőszeletek nekiütődését valaminek. Ha ilyesmi következne be, apró repedések keletkezhetnek a félvezetőszeleten. Természetesen megfelelően beállított kobotok esetében a törés valószínűsége sokkal kisebb, mint az emberi munkaerő esetében.

A kobotokkal végzett automatizált forrasztás akkor is megfelelő, ha az alkatrészeket különösen vékony nyomtatott áramköri lapokra szerelik fel, és a szilícium hőtágulásának hatásai aggodalomra adnak okot. Ahol a kobotokat ilyen és más összeszerelési feladatok elvégzésére szánják, gyakran logikus valamilyen termográfiai vagy más nyomtatottáramkörilap-ellenőrző berendezést beépíteni a végberendezésbe. Ez a nagyobb gyártási mennyiség elérése és a minőségbiztosítás érdekében felgyorsítja a hibamentes munkavégzést – gyakran viszonylag kis költséggel.

Összegzés

Az ipari robotok megfizethető és rugalmas automatizálást tehetnek lehetővé a félvezető- és elektronikagyártás területén. A műszaki kihívások közé tartozik a pormentes termi besorolásnak való megfelelés szükségessége, a nagy mennyiségben történő gyártás és a rendkívül drága munkadarabok körültekintő mozgatása. A mai robotok hardverei, valamint a robotokhoz való szimulációs szoftverek és programozás azonban még ezzel együtt is leegyszerűsítették a pormentes termi robotokat használó megoldások méretezését és kiválasztását.

A helyzetet bonyolítja, hogy az egyre miniatürizáltabb elektronika egyre finomabb részletei erre a célra alkalmas robotizált összeszerelési folyamatokat tesznek szükségessé. A robotika az egyre fejlettebb képességeket lehetővé tevő villanymotorokkal, mechanikus rudazatokkal, vezérlésekkel és hálózatokkal felnőtt ehhez a feladathoz. Az olyan kiegészítő technikák, mint a gépi látás és a valós idejű ipari hálózatok szintén új képességekkel ruházták fel a robotokat a nagy mennyiségű félvezetőgyártás során történő megmunkáláshoz, feldolgozáshoz és összeszereléshez.